这里是标题一h1占位文字
Félvezető iparVOCs hulladékgázFőként a fotolitográfia, fejlesztés, maratás és diffúzió folyamatokból származik. Ezekben a folyamatokban használt tisztítószerek, fejlesztőszerek, fotórezisztens anyagok, maró folyadékok és egyéb oldószerek nagy mennyiségű szerves összetevőt tartalmaznak. Egy sanghaji nagy integrált áramkör chip gyártó cég a termelési környezetének javítása érdekében hatékonyan kívánja kezelni a hulladékgázt. A projekt hulladékgázának jellemzői alapján a Megaunity tervezett és megvalósított egy VOCs kezelő rendszert, amelynek kimeneti gázának koncentrációja messze alatta marad az országos és helyi szabványoknak, miközben jelentősen csökkenti a vállalat működési költségeit.
Hulladékgáz forrása és jellemzői
A projekt hulladékgázának fő forrása az integrált áramkör gyártási folyamatában a tisztítás, bevonás, fejlesztés és nedves módszerrel történő eltávolítás során keletkező szerves hulladékgáz.
(1) A hulladékgáz szerves anyagának koncentrációja viszonylag alacsony, a légáram nagy. A hulladékgáz légárama 85000Nm3/h, koncentráció 150mg/m3.
(2) A hulladékgázban lévő szerves szilícium oxidációja szilícium-dioxidot képezhet, ami elzárhatjaRTO és zeolit kerék.
(3) A hulladékgáz fotórezisztens anyagot tartalmaz, amely hosszú távú működés esetén elzáródást okozhat a további csövekben, berendezésekben és kéményekben.
Megaunity megoldás
A Megaunity a vevő üzemének hulladékgázának jellemzői alapján különleges tervezésűelőkezelés + zeolit kerék rendszer + RTO + hőhasznosítás rendszert alkalmazott, amelynek kimeneti koncentrációja évről évre 5mg/m³ alatt marad, a kibocsátási mutatók messze felülmúlják az országos és helyi legújabb kibocsátási normákat.
(1) KPR+RTO technológiát alkalmaztak, amely évente közel egymillió köbméter földgázfogyasztást takarít meg a vevő más gyárainak TO kemencéjéhez képest.
(2) A projekt vészhelyzeti kibocsátási mellek rendszerét állította be, amely biztosítja a szellőzést a műhelyben a rendszer karbantartása alatt, elkerülve a félvezető iparban a gyártási veszteségeket.
(3) Csőégőket használnak a hőcserélők helyett, elkerülve a hőcserélő rendszer és a zeolit kerék elzáródását.
(4) Megaunityprivát felhőplatform szolgáltatás, valós idejű felügyelet a stabil működés érdekében, a hulladékgáz folyamatosan megfelel a kibocsátási normáknak.
A félvezető ipar hulladékgázának egyes összetevői könnyen elzáródást okozhatnak a csövekben és berendezésekben, ezért a VOCs megoldás kiválasztásakor figyelembe kell venni az előkezelési és hőhasznosítási megoldások kiválasztását; ha nem megfelelő intézkedéseket hoznak, az könnyen helyrehozhatatlan hatásokat és károkat okozhat a berendezés alapjában a működési szakaszban. A Megaunity a tényleges munkakörülmények alapján testreszabott rendszertervezést és optimalizálást kínál az ügyfelek számára, segítve a vállalatokat a hulladékgáz kezelésének problémáiban, folyamatosan értéket teremtve az ügyfelek számára, és hozzájárulva a kettős széncélok eléréséhez.
Ipari termelési környezet levegő rendszer szolgáltató
Telefon: 400-860-5288
Üzleti kommunikáció e-mail: marketing@megaunity.com
Megvesztegetés elleni jelentés e-mail: complaint@megaunity.com
Suzhou: 300 dongxin road, xukou város, wuzhong kerület
Dalian: 8. szám, digitális harmadik út, shuangd kikötő, gazdasági és technológiai fejlesztési zóna
Copyright © 2024 Megaunity Air System Co., Ltd. All RIght Servered
