Esettanulmány丨60%-kal csökkentett energiafogyasztás, hogyan segíti a Zhaohua a félvezető vállalatok VOCs megoldásainak hatékony és energiatakarékos megvalósítását.
这里是标题一h1占位文字
Félvezető ipar VOCs A füstgázok fő forrása a fotolitográfia, fejlesztés, maratás és diffúzió stb. folyamatok. Ezekben a folyamatokban használt tisztítószerek, fejlesztőszerek, fotórezisztens anyagok, maró folyadékok stb. oldószerek nagy mennyiségű szerves összetevőt tartalmaznak. Egy sanghaji nagy integrált áramkör chip gyártó cég a termelési környezetének javítása érdekében hatékonyan kívánja kezelni a füstgázokat. A projekt füstgázainak jellemzőire vonatkozóan, A Megaunity tervezett és megvalósított egy VOCs kezelési rendszert, amelynek kimeneti gázának koncentrációja a rendszeres kezelés után messze alatta van a nemzeti és helyi normáknak, miközben jelentősen csökkenti a vállalat működési költségeit.
Füstgáz forrása és jellemzői
A projekt füstgázai főként az integrált áramkör gyártási folyamatában a tisztítás, bevonás, fejlesztés és nedves eltávolítás során keletkező szerves füstgázokból származnak.
(1) A füstgáz szerves anyagának koncentrációja viszonylag alacsony, a légáram nagy. A füstgáz légárama85000Nm3/h, koncentráció150mg/m3.
(2) A füstgázban lévő szerves szilícium oxidációja szilícium-dioxidot képezhet, ami elzárhatjaRTOés zeolit kerék.
(3) A füstgáz fotórezisztens anyagot tartalmaz, amely hosszú távú működés esetén elzáródást okozhat a további csövekben, berendezésekben és kéményekben.
A Megaunity megoldása
A Megaunity a vevő üzemének füstgáz jellemzőire reagálva különleges tervezésű előkezelést alkalmazott+zeolit kerék rendszer+RTO+hőhasznosító rendszer, a kezelés után a kibocsátás koncentrációja évek óta alacsonyabb, mint5mg/m³, a kibocsátási mutatók messze felülmúlják a legújabb nemzeti és helyi kibocsátási normákat.
(1) alkalmazott KPR+RTO technológia, amely a vevő más gyárainakTOkemence kezelési technológiájához képest évente közel egymillió köbméter földgázfogyasztást takarít meg.
(2) A projekt vészhelyzeti kibocsátási elágazó rendszert állított be, amely a rendszer karbantartása alatt is biztosítja a műhely szellőzését, elkerülve a félvezető iparban a gyártási veszteségeket.
(3) Csőégőket alkalmaztak a hőcserélők helyett, elkerülve a hőcserélő rendszer és a zeolit kerék elzáródását.
(4) A Megaunity privát felhőplatform szolgáltatása, valós idejű felügyelet a stabil működés érdekében, a füstgáz folyamatosan megfelel a kibocsátási normáknak.
A projekt bemutatása
A félvezető ipar füstgázainak egyes összetevői könnyen elzáródást okozhatnak a csövekben és berendezésekben, ezért a megoldás kiválasztásakor figyelembe kell venni az előkezelési és hőenergia-hasznosítási megoldások kiválasztását; ha nem megfelelő intézkedéseket hoznak, az üzemeltetési szakaszban könnyen helyrehozhatatlan hatásokat és károkat okozhat a berendezésben. A Megaunity a tényleges munkakörülményekhez igazodva testreszabott rendszertervezést és optimalizálást kínál az ügyfelek számára, segítve a vállalatokat a füstgázkezelési problémák megoldásában, folyamatosan értéket teremtve az ügyfelek számára, és hozzájárulva a kettős széncélok eléréséhez.
Ipari termelési környezet levegő rendszer szolgáltató
Telefon: 400-860-5288
Üzleti kommunikáció e-mail: marketing@megaunity.com
Megvesztegetés elleni jelentés e-mail: complaint@megaunity.com
Suzhou: 300 dongxin road, xukou város, wuzhong kerület
Dalian: 8. szám, digitális harmadik út, shuangd kikötő, gazdasági és technológiai fejlesztési zóna
Copyright © 2024 Megaunity Air System Co., Ltd. All RIght Servered
